既要精度又要效率？看科尔摩根无框技术如何提升半导体制造核心竞争力！

杨坤科尔摩根高级应用工程师 Kollmorgen科尔摩根 2024-08-15

科尔摩根KBM无框直驱电机以其卓越的技术优势，为晶圆磨床工件轴的性能提升提供了革新性的解决方案。

在半导体制造领域，晶圆的加工质量直接决定了电子产品性能与可靠性。随着科技日新月异和市场对高性能电子产品需求的不断升级，晶圆磨床作为半导体生产设备之一，其工件轴的性能成为提升晶圆加工精度与生产效率的关键。然而，传统加工设备在高精度、高效率和高稳定性面前显得力不从心，尤其是在复杂多轴联动和高速加工场景下，对电机的性能提出了更高要求。

在现代半导体制造业中，晶圆磨床工件轴不仅需要具备高精度和高刚性，还要能够实现低速度波动和快速响应，以适应复杂多变的加工需求。传统伺服电机方案虽然在一定程度上满足了基础需求，但在速度波动控制、安装空间优化和响应性方面存在明显局限。特别是在多轴联动的精密加工中，传统电机的性能瓶颈开始显现，难以满足现代晶圆磨床对高精度加工的严苛要求。因此，寻找一种能够大幅提升晶圆磨床加工性能的创新电机方案，成为了行业内的迫切需求。

为了应对这些挑战，设备制作商采用了科尔摩根KBM系列无框直驱电机，对晶圆磨床的工件轴进行了优化。KBM无框直驱电机以其卓越的技术优势，为晶圆磨床工件轴的性能提升提供了革新性的解决方案。KBM电机采用无框直驱设计，结合先进的电磁技术和斜齿转子设计，实现了工件轴端跳径跳的精密控制，将这一指标控制在了300nm以内，远超传统伺服电机的性能。这种高精度的控制能力，确保了晶圆磨削过程中的微米级精度，为半导体产品的高性能打下了坚实基础。

✓平稳运行

斜齿转子设计极大提高了电机运行时的速度平稳性，减少了速度波动，确保了加工过程的稳定性。

✓快速定位

配合高性能驱动器，KBM电机实现工件轴的快速精准定位，大幅提高了生产效率和加工速度。

✓紧凑设计

KBM电机体积小，转矩密度高，为紧凑结构中的安装提供了更大的灵活性，节省了宝贵的安装空间。

✓高刚性与响应性

KBM电机的高刚性和高响应性确保了设备在多轴联动加工中的平稳运行和快速定位，适应了复杂多变的加工需求。

✓低维护成本

KBM电机的高可靠性和长寿命降低了维护成本，减少了停机时间，提高了设备的运行效率和生产连续性。

采用科尔摩根KBM电机的晶圆磨床，让客户体验到了全方位的提升。不仅晶圆加工的精度和一致性达到了新的水平，控制精度提升至3rad s，重复定位精度达到1.5rad s，极大的提高了生产质量，并减少了后续调整的需要，有效节约了成本。生产效率的显著提升更是缩短了产品从研发到市场的周期，增强了企业的市场响应速度和竞争力。最重要的是，KBM电机的低维护需求和长期稳定性，确保了生产流程的连续性，减少了因设备维护导致的生产中断，为企业创造了持续稳定的生产环境，带来了显著的经济效益和长期的竞争优势。

文章来源：Kollmorgen科尔摩根

图片来源：Kollmorgen科尔摩根

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责任编辑：朱晓裔

审核人：李峥